公司创始人及CEO是业内著名专家，他是国内从事离子注入机研发时间最早和最久的人之一，迄今已有20多年，在注入机的各学科开创了多项核心技术；据不完全统计，由其设计研发的离子注入机累计出货已超过150台，覆盖中芯国际、华虹、华力、积塔、长存等一线大厂；创始人历任相关行业公司技术副总和总工等职务，承担过国家多个重大专项项目、国家863项目、重大科技创新项目和载人航天项目，取得过几十项发明专利，多次获得省部级科技技术奖。

公司核心技术团队是由多名具有丰富的离子注入机装备和其它半导体装备研发及产业化经验的技术团队和运营团队组成。核心成员毕业于中科院、山东大学、北科大、中南大学等知名院校，都有世界500强公司的工作经历，专业涵盖机械、电气、控制、高能物理和计算机软件等，技术团队硕博占比达60%。