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广州市艾恩半导体科技有限公司成立于2023年2月，由资深创始团队和国有上市创投公司鲁信创投（600783.SH）共同出资设立，未来5年，将持续投资超过5亿人民币。 艾恩半导体从2023年第三季度起，开始布局离子注入机的量产和销售计划，并同时启动对上游资源的整合，公司已在济南投资成立艾恩（山东）半导体科技有限公司，注册资本1500万，高新技术企业。

艾恩半导体专注于半导体核心关键装备离子注入机的研发、设计、生产、销售和服务。力争在三年内，重新整合产业链技术和资源，成为国内重要的离子注入机装备供应商，产品性能达到国际水平。